ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀

ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用特的測量方式，實現了高速測量和機體的小型化。

產品型號：UNECS?Portable
廠商性質：經銷商
更新時間：2023-04-11
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ulvac-kiko 高速光譜橢偏儀UNECS?Portable

UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。
采用特的測量方式，實現了高速測量和機體的小型化。
我們的產品陣容包括特的便攜式，自動式和對應真空環境的設備內置式類型。
UNECS-Portable，測量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊，是易于攜帶的便攜式類型。
可用于真空設備現場驗收試驗，可以通過分離樣品臺直接放在樣品上進行大尺寸樣品的測量。

特點

高速測定：
獨的快照方法可實現高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜：
波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。
豐富的產品陣容：
產品陣容應用廣泛，包括如獨的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環境的內置類型。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蝕劑，ITO等）的膜厚，折射率，消光系數的測量

規格

波長范圍		530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（選擇）
點徑		Φ1mm、Φ0.3mm（選擇）
入射角度		70o固定
膜厚再現性		1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范圍		1nm ～ 2μｍ
測量時間		受光：20ms ～ 3000ms　演算：300ms
平臺		固定類型（Φ150mm以下、可拆卸）
控制PC		筆記本類型（帶操作/分析軟件）
機器構成		測量本體（帶固定臺）、控制器BOX、光源單元操作PC（筆記本型）、使用說明書（CD）

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